Veřejná zakázka: Dodávka univerzálního multifunkčního depozičního zařízení s diagnostikami pro projekt NTIS

Informace o veřejné zakázce

předchozí profil zadavatele Zadávací řízení bylo zahájeno na jiném Profilu:
Předchozí systémové číslo VZ: P13V00000123
Id předchozího profilu ve VVZ: 60050446

fáze zadávacího řízení Zadáno
Zakázka byla zadána.
DBID: 1270
Systémové číslo: P16V00001289
Dle zákona: č. 134/2016 Sb.
Evidenční číslo ve VVZ: 368929
Datum zahájení: 21.12.2013
Nabídku podat do: 12.02.2014 12:00

Název, druh veřejné zakázky a popis předmětu

  • Název: Dodávka univerzálního multifunkčního depozičního zařízení s diagnostikami pro projekt NTIS
  • Druh veřejné zakázky: Dodávky

Stručný popis předmětu:
Předmětem veřejné zakázky je dodávka jednoho kusu depozičního zařízení pro řízenou přípravu tenkovrstvých materiálů s různými diagnostikami skládajícího se z následujících částí: Hlavní depoziční komora (mezní tlak 10-5 Pa) o průměru 55 až 61 cm a výšce 43 až 46 cm, vakuový čerpací systém, čtyři plazmové magnetronové zdroje (průměr terče 5 cm), jeden kruhový magnetron (průměr terče 10 cm) s nastavitelným magnetickým polem, hmotnostní filtr klastrů, měření tlaku pracovního plynu, držák substrátů o průměru 10 cm s možností rotace, ohřevu do 850°C a záporného předpětí, systém pro výměnu vzorků bez zavzdušnění depoziční komory (load-lock), přívod pracovních plynů pro nezávislé řízené napouštění až čtyř plynů do depoziční komory, řízené elektrické zdroje pro činnost všech magnetronů (vysokovýkonový unipolární pulzní zdroj, duální pulzní zdroj s opakovací frekvencí až 350 kHz pro dvojici magnetronů, stejnosměrný kontinuální zdroj a dva radiofrekvenční zdroje), elektrické sondy pro měření napětí a proudu elektrických zdrojů s USB osciloskopem, chladicí systém a řídicí systém depoziční aparatury.
Dále jsou součástí zařízení následující systémy pro diagnostiku výbojového plazmatu a tenkovrstvých materiálů během jejich vytváření a počítačové řízení experimentů: Monitor tloušťky rostoucí vrstvy, systém pro časově a prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopii, systém Langmuirovy sondy s prostorovým a časovým rozlišením, systém pro chromatografická měření, analyzátor procesního plynu a softwarové a hardwarové vybavení pro počítačové řízení experimentů. Předmět plnění musí být vybaven příslušným plnohodnotným softwarem včetně počtu licencí uvedeného v zadávací dokumentaci.

Postup zadání, předpokládaná hodnota

  • Postup: uveřejnění na profilu - otevřené řízení
  • Režim veřejné zakázky: nadlimitní
  • Předpokládaná hodnota: 25 000 000 Kč bez DPH

Zadavatel

  • Úřední název: Západočeská univerzita v Plzni
  • IČO: 49777513
  • Poštovní adresa:
    Univerzitní 2732/8
    30100 Plzeň

Adresa kontaktního místa

Nabídky, resp. žádosti o účast podávat na:
Univerzitní 2732/8
306 14 Plzeň

Kontakt

Položky předmětu

Veřejné dokumenty

Formuláře

URL odkazy

Plnění smlouvy na základě veřejné zakázky