Západočeská univerzita v Plzni

Title, type and description of public contract

• Title: Dodávka univerzálního multifunkčního depozičního zařízení s diagnostikami pro projekt NTIS
• Type of public contract: Supplies

Brief subject description:
Předmětem veřejné zakázky je dodávka jednoho kusu depozičního zařízení pro řízenou přípravu tenkovrstvých materiálů s různými diagnostikami skládajícího se z následujících částí: Hlavní depoziční komora (mezní tlak 10-5 Pa) o průměru 55 až 61 cm a výšce 43 až 46 cm, vakuový čerpací systém, čtyři plazmové magnetronové zdroje (průměr terče 5 cm), jeden kruhový magnetron (průměr terče 10 cm) s nastavitelným magnetickým polem, hmotnostní filtr klastrů, měření tlaku pracovního plynu, držák substrátů o průměru 10 cm s možností rotace, ohřevu do 850°C a záporného předpětí, systém pro výměnu vzorků bez zavzdušnění depoziční komory (load-lock), přívod pracovních plynů pro nezávislé řízené napouštění až čtyř plynů do depoziční komory, řízené elektrické zdroje pro činnost všech magnetronů (vysokovýkonový unipolární pulzní zdroj, duální pulzní zdroj s opakovací frekvencí až 350 kHz pro dvojici magnetronů, stejnosměrný kontinuální zdroj a dva radiofrekvenční zdroje), elektrické sondy pro měření napětí a proudu elektrických zdrojů s USB osciloskopem, chladicí systém a řídicí systém depoziční aparatury.
Dále jsou součástí zařízení následující systémy pro diagnostiku výbojového plazmatu a tenkovrstvých materiálů během jejich vytváření a počítačové řízení experimentů: Monitor tloušťky rostoucí vrstvy, systém pro časově a prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopii, systém Langmuirovy sondy s prostorovým a časovým rozlišením, systém pro chromatografická měření, analyzátor procesního plynu a softwarové a hardwarové vybavení pro počítačové řízení experimentů. Předmět plnění musí být vybaven příslušným plnohodnotným softwarem včetně počtu licencí uvedeného v zadávací dokumentaci.

Procedure type, estimated value

• Procedure: published on profile - open procedure
• Public contract regime: above-the-threshold
• Estimated value: 25 000 000 Kč without VAT

Contracting authority

• Official name: Západočeská univerzita v Plzni
• CRN: 49777513
• Postal address:
  Univerzitní 2732/8
  30100 Plzeň

Contact address

Tenders or requests to participate submit to:
Univerzitní 2732/8
306 14 Plzeň

Contact