Brief subject description:
Předmětem veřejné zakázky je dodávka vakuové komory s příslušenstvím. Dodávka se skládá ze čtyř kompletů:
A) Komponenty čerpacího systému a systému pro výměnu vzorků („load lock”) vč. ventilů („Komplet A“),
B) Vakuová komora s požadovanými parametry („Komplet B“),
C) Napouštění plynů, měření vakua a držák substrátů („Komplet C“),
D) Naprašovací zdroje a chladicí systém („Komplet D“).
Technické podmínky Vakuové komory s příslušenstvím (kompletů A až D) uvedené v zadávací dokumentaci, jsou uvedeny jako minimální požadavky, které musí Vakuová komora s příslušenstvím splňovat. Vyhlášení veřejné zakázky bylo dne 25. 07. 2013 odesláno k uveřejnění do Úředního věstníku Evropské unie.
Tenders or requests to participate submit to:
Univerzitní 2732/8
306 14 Plzeň